.../Структура/Лаборатория микро- и нанотехнологий

ИНТЕРФЕРЕНЦИОННО-ЛИТОГРАФИЧЕСКИЙ СИНТЕЗ ТРЕХМЕРНЫХ ФОТОННЫХ КРИСТАЛЛОВ
Реализован синтез полимерных матриц фотонных кристаллов методом интерференционной литографии. Запись решетки осуществлялась излучением гелий-кадмиевого лазера на длине волны 442нм в фоторезисте SU-8. Использование длины волны, соответствующей области слабого поглощения фоторезиста, позволило обеспечить однородность структуры по глубине фотоматериала.
Схема экспериментальной установки
Электронные фотографии фотонных кристаллов

Библиография: